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本发明涉及一种真空镀膜用双腔室物料转送装置，包括转送料杆，转送料杆的中部和镀膜腔室的室壁滑动配合，转送料杆包括A杆段和B杆段，A杆段位于镀膜腔室内且在A杆段的端部设置用于对工件进行托载的托载组件，B杆段位于镀膜腔室的外部，B杆段的端部安装在活动安装座上，活动安装座和镀膜腔室之间的B杆段的杆身上套设有伸缩式的波纹管，活动安装座与调节其沿转送料杆的长度方向进行移动的调节机构相连接。本发明提供的上述方案，将现有的磁力臂输送动力更换为波纹管结构，不仅解决了磁力传输的局限性，使得大型工件在镀膜腔室之间进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117721433A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202410107013.2
(22)申请日2024.01.25
(71)申请人安徽纯源镀膜科技有限公司
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