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本发明提供一种膜框去除装置及方法,该装置包括:载台、夹具和支撑架,载台用于承载并固定基板,夹具位于载台上方,夹具和载台中的至少一个被配置为能够沿竖直方向运动,夹具包括连接杆、第一夹紧杆、第二夹紧杆、第一持握杆、第二持握杆和弹簧,连接杆的一端连接于支撑架,连接杆的另一端与第一夹紧杆和第二夹紧杆相互铰接,第一持握杆与第一夹紧杆连接,第二持握杆与第二夹紧杆连接,弹簧位于第一持握杆和第二持握杆之间,第一夹紧杆和第二夹紧杆上均设置有能够插入膜框上的定位孔内的插针,且插针上设置有加热片。上述的膜框去除装置能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117727657A
(43)申请公布日2024.03.19
(21)申请号202311606342.3
(22)申请日2023.11.29
(71)申请人上海传芯半导体有限公司
地址2
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