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本发明提供一种光阑盘位置调节方法、调节系统及检测系统，方法包括：获取设置在光阑盘上各辅助定位点的位置信息，其中，所述光阑盘的周向设置有若干光阑结构以及若干辅助定位点，各所述光阑结构与各所述辅助定位点对应设置；接收第一回零指令，根据所述第一回零指令查询所述光阑盘位于光路中的所述光阑结构的第一位置，并根据各所述辅助定位点的位置信息，选取距所述第一位置最近的辅助定位点作为校准位置，控制光阑盘从所述第一位置旋转到所述校准位置以完成校准；接收定位指令，根据定位指令获取所述若干光阑结构中的目标光阑的第二位置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117741888A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311793798.5
(22)申请日2023.12.24
(71)申请人上海精积微半导体技术有限公司
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