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2024-03-23 发布于四川
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监控分栅存储器串扰性能的方法.pdf

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本发明提供了一种监控分栅存储器串扰性能的方法，包括：提供监控结构，包括：多个金属焊垫，一个金属焊垫连接一个位线或一个字线或一个第一控制线或一个第二控制线；通过其中五个金属焊垫向同一个存储器单元的字线、第一控制线、第二控制线、与源极连接的位线和与漏极连接的位线分别施加工作电压，以实现对存储器单元的读操作和写操作；测试与加压存储器单元位于相同字线上的非加压存储器单元的沟道电流，以判断非加压存储器单元在加压存储器单元进行读操作后的串扰性能，以及，测试与加压存储器单元位于相同位线上的非加压存储器单元的沟

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117746953A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311607668.8

(22)申请日2023.11.28

(71)申请人上海华虹宏力半导体制造有限公司

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