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一种碲掺杂锑化铟圆片的退火方法包括步骤：S1，将碲掺杂锑化铟圆片定位在退火炉内，正反表面处于第一方向，法线处于第二方向，第一方向和第二方向垂直，碲掺杂锑化铟圆片的高载流子浓度区域和低载流子浓度区域在第一方向上分别分布在碲掺杂锑化铟圆片的第一方向的两侧；S2，设定退火温度，高载流子浓度区域对应的退火温度低于低载流子区域对应的退火温度，将退火炉的温度在第一方向上的分布以碲掺杂锑化铟圆片的第一方向的直径的两端对应的退火的最高温度和最低温度之间的温度差与直径形成的温度梯度设定；S3，依据设定的温度退火；
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117737863A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311703834.4
(22)申请日2023.12.12
(71)申请人安徽光智科技有限公司
地址23
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