一种微机电系统扬声器以及制备方法.pdfVIP

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2024-03-23 发布于四川
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一种微机电系统扬声器以及制备方法.pdf

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本发明公开了一种微机电系统扬声器以及制备方法。该微机电系统扬声器包括：衬底、下电极、压电振膜层和上电极，上电极包括多个第一子电极和第一狭缝；压电振膜层包括第二狭缝和多个子压电振膜层；下电极还包括第二狭缝和多个第二子电极；第二子衬底还包括第二狭缝和多个第二子衬底分部；第二狭缝和第一狭缝连通；柔性额外振膜层，柔性额外振膜层包括弯折结构、平面结构和第二开口结构，第二开口结构和第一开口结构连通，弯折结构靠近衬底的表面包括至少一个凹槽；通槽，通槽和第二狭缝连通。上述技术方案实现了一种MEMS器件的工艺一致

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117750291A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202311796409.4

(22)申请日2023.12.22

(71)申请人常州元晶摩尔微电子有限公司

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