大行程高谐振自锁摆镜.pdfVIP

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2024-03-23 发布于四川
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大行程高谐振自锁摆镜.pdf

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本发明公开了一种大行程高谐振自锁摆镜，属于高速摆镜领域。包括平面反射镜组件、镜架、柔性支撑组件、丝杠致动组件以及基座；平面反射镜组件连接位于柔性支撑组件之上的镜架，柔性支撑组件固定于基座之上，同时通过连接丝杠致动组件中的杠杆缩小结构从而与整个丝杠致动组件连接。丝杠致动组件共有四个丝杠致动器，丝杠致动器由丝杠模组以及杠杆缩小结构组成，各丝杠致动器之间独立运转，互相不产生干扰。丝杠致动组件固定于基座之上。本发明采用两轴排布方式分布四个丝杠致动器，丝杠电机配备光栅尺组成丝杠模组，实现闭路自锁，利用杠杆

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117741953A

(43)申请公布日2024.03.22

(21)申请号202410134182.5

(22)申请日2024.01.30

(71)申请人中国科学院光电技术研究所

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