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本申请涉及一种用于晶圆键合设备的双作用无摩擦气缸。该双作用无摩擦气缸包括缸体与活塞，缸体的周面具有第一气口与第二气口，活塞可滑动地设置于缸体中，以将缸体内腔分隔成与第一气口连通的第一气腔及与第二气口连通的第二气腔，活塞的周面与述缸体的周面之间具有第一气膜间隙，活塞具有相隔开的第一流道、第二流道与第三流道，第一流道与第一气腔、第一气膜间隙连通，第二流道与第二气腔、第一气膜间隙连通，第三流道与第一气膜间隙连通，第三流道靠近第一气腔的一侧及靠近第二气腔的一侧皆设置有用于排出第三流道内的气体的单向阀。该
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117738964A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202410134989.9
(22)申请日2024.01.31
(71)申请人迈为技术（珠海）有限公司
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