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本申请涉及沉积设备技术领域，具体涉及一种真空泵冷却装置和沉积系统。该沉积系统包括沉积设备、真空泵、液氮气化装置、液氮罐和真空泵冷却装置。该真空泵冷却装置包括：冷却组件、热供应组件和热交换器。冷却组件与真空泵相邻设置，被配置为吸收真空泵的热量，冷却组件与热交换器连通，以将热量从冷却组件传递至热交换器。热供应组件与液氮气化装置相邻设置，为液氮气化装置提供热量，热供应组件与热交换器连通，以将热量从热交换器传递至热供应组件。热供应组件可以持续吸收热交换器的热量，使热交换器可以持续吸收冷却组件的热量，进而
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117738885A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202410145283.2
(22)申请日2024.02.01
(71)申请人湖南德智新材料有限公司
地址4
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