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一种用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路.pdfVIP

一种用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路.pdf

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    本发明公开了一种用于分析原子力显微镜微悬臂梁运动特性的等效电路，包括：由一个带有反向积分器的xe电路模块和一个带有反向积分器的ye电路模块连接构成。本发明将带有反向积分器的xe电路模块和带有反向积分器的ye电路模块组合在一起，构成了AFM微悬臂梁系统的等效电路，实现在低成本条件下，分析考虑外部复杂环境因素影响下，各动力学参数变化时，AFM微悬臂梁系统运动特性的演化过程；在AFM微悬臂梁机械系统参数匹配、加工设计，以及非线性机械系统异常工况识别、非线性运动控制等方面都具有重要的参考价值和应用前景。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117744558A

    (43)申请公布日2024.03.22

    (21)申请号202311768118.4

    (22)申请日2023.12.21

    (71)申请人甘肃省计量研究院

    地址7300

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