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公开了用于检查STT‑MRAM中的有缺陷的MTJ单元的方法和系统。本发明涉及一种用于提供应力评估方案的膜质量检查方法和系统,所述应力评估方案用于检查自旋转移矩磁性随机存取存储器(STT‑MRAM)的磁性隧道结(MTJ)单元的膜质量,其中,双极性信号和包括单极性空穴(正极性)和单极性电子(负极性)的单极性信号被同时施加到同一MTJ单元,然后根据周期间隙的比较的结果,具有厚度约1nm的薄膜的质量可被检查。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117746938A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311733066.7(51)Int.Cl.
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