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本发明属于基板干燥技术领域，具体公开了一种基板干燥装置以及基板清洗干燥设备。基板在干燥时，液膜厚度会变薄，通过膜厚计检测液膜厚度并反馈至控制终端，操作人员于控制终端处调节伸缩部的伸缩程度或控制终端自身调节伸缩部程度、以调整基板与导流板之间的间距，进而调节基板与导流板之间的超临界流体的流速，直至流速与液膜厚度变化前的流速一致，使得干燥的过程中液膜表面的层流效果保持一致，相比于现有方案，本结构的引流板靠近基板一侧移动时，会减少基板与引流板之间的间距，此时超临界流体于基板与引流板之间流动时会作用于基板
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117747499A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311734640.0
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人北京晶亦精微科技
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