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本申请提供了一种划片承载机构，包括承片台、安装底托、支撑座体、第一真空发生器、第一进气管路及真空检测组件。安装底托安装在支撑座体上，承片台安装在安装底托上。安装底托上设有第一真空吸附槽，支撑座体内设有与第一真空吸附槽连通的第一真空管路。第一真空管路的下端连接在第一真空发生器的抽气端口上，第一进气管路的出气端连接在第一真空发生器的进气端口上。第一进气管路上还设有控制阀，真空检测组件检测第一真空管路内的压强值，当第一真空管路内的压强值低于预定低值时，控制阀断开；当第一真空管路内的压强值高于预定高值时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117747525A
(43)申请公布日2024.03.22
(21)申请号202311770626.6
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人北京中电科电子装
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