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本公开涉及微反应腔技术领域，具体涉及一种微反应腔及多组并联的微反应腔，所述微反应腔包括：壳体，内设有上分隔件与下分隔件，将壳体的内腔划分为位于顶部的上腔室、位于中部的反应腔以及位于底部的下腔室，所述上分隔件与下分隔件的距离能够调整，可以在保证样品所处反应腔在设定压力的情况下，通过调节上腔室、下腔室的压力值独立改变样品所在反应腔的上分隔件与下分隔件弯曲情况，也可以在改变样品压力条件下，维持样品附着的下分隔件不产生垂直位移，可以在样品不失焦的情况下，同时减少电子散射和吸收的情况，提升电子成像的质量和
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220651937U
(45)授权公告日2024.03.22
(21)申请号202321987374.8
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人广州国家实验室
地址5100
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