原创力文档- 1、本文档共1页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
AdvancedResearchSystems
椭圆偏振技术Ellipsometry
椭圆偏振法是一种测量薄膜介电特性的光学方法。偏振光从样品表面斜反射，产生偏振反射光的振幅
比和相位差椭圆，用椭圆偏振光谱仪测量，成分、粗糙度、厚度等信息，通过它可以得到掺杂浓度和
其它材料特性。薄膜的本征物理性质也可以用椭偏仪的温度依赖性来研究。
参考文献：
AndreiSirenko,DepartmentofPhysics,NewJerseyInstituteofTechnology,USA:ReviewofScientific
Instruments84,023901(2013).
相关产品：
X-20超稳超低振动低温恒温器
•振动<3-5nm
•易于更换样品
•温度稳定性高
恒温器型号类型
CS202‐DMX‐20无液氦闭循环
CS204‐DMX‐20无液氦闭循环
CS210‐GMX‐20无液氦闭循环
天津多为莱博科技有限公司
Tel：022Email：sales@
文档评论（0）