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2024-03-24 发布于四川
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一种金钢线切片后锗泥清洗方法.pdf

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本发明公开了一种金钢线切片后锗泥清洗方法，所用金钢线切片后锗泥清洗装置包括：过滤网、喷淋池、晶片支架、盖板、开盖气缸、污水回收溢流储水箱、加热管、喷淋管、喷淋摆动气缸、喷淋泵和过滤器；清洗方法包括：1)将金钢线切割完成的整段晶棒切口向上地放置在晶棒支架内；2)将盖板打开，并将晶棒支架放置在喷淋池中央，盖上盖板；3)污水回收溢流储水箱内加入清洗液，开启喷淋泵与喷淋摆动气缸，清洗液经过过滤器过滤后通过第二管路输送至喷淋管、喷洒在金钢线切割完成的晶棒上，同时喷淋摆动气缸驱动喷淋管摆动，形成对晶棒的清洗

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114932110A

(43)申请公布日2022.08.23

(21)申请号202210450087.7

(22)申请日2022.04.27

(71)申请人中锗科技有限公司

地址21129

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