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本发明提供一种石英玻璃沉积装置以及石英玻璃的制备方法，包括：由所述平面炉顶、上炉体、下炉体依次连接形成底端开口的炉体、沉积单元以及喷灯；上炉体具有向远离炉体内部的方向凸出的圆弧内壁，下炉体的内壁沿着深度方向线性延伸；炉体的侧壁具有靠近所述平面炉顶的排气孔；沉积单元包括位于炉体内部的支撑杆和固定连接于支撑杆顶部的沉积基底，支撑杆沿自身轴线旋转；喷灯，固定于平面炉顶处；所述喷灯的喷射方向朝向所述沉积基底，且喷射方向与所述炉体的轴线具有夹角θ，30°≤θ≤60°，且喷灯远离所述炉体内部的一端与所述轴线
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115304243A
(43)申请公布日2022.11.08
(21)申请号202211085703.X
(22)申请日2022.09.06
(71)申请人中天科技精密材料有限公司
地址2
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