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一种柔性电极材料的制备方法.pdfVIP

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  • 2024-03-27 发布于四川
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一种柔性电极材料的制备方法.pdf

    本申请公开了一种柔性电极材料的制备方法，方法包括：在石墨纸上放置PI胶带，然后施加外力将所述PI胶带拉下来，制备成柔性且重量轻的集流体；抽真空室的压力降低至工作压力，通过轰击80‑120W直流功率的Ar离子对靶材进行预清洗；其中，所述靶材使用过渡金属；通过直流反应磁控溅射将与所述靶材相对应的过渡金属氧化物沉积在石墨纸片；进行若干层过渡金属层沉积，以使过渡金属氮化物薄膜更好地附着在衬底上；控制沉积温度和靶材与基板之间的距离，在惰性气体氛围下，沉积2h制成柔性电极材料。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117758224A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202311839961.7H01G11/46(2013.01)

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