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本公开涉及一种等离子刻蚀机清洁装置、方法及等离子刻蚀机。等离子刻蚀机清洁装置用于对刻蚀终点检测窗口的透光片的内表面进行清洁处理，刻蚀终点检测窗口设置于刻蚀腔体，清洁装置包括监测部以及气体解离部，监测部用于获取刻蚀终点检测探头靠近所述刻蚀终点检测窗口的一端接收透光片透过的目标光的信号强度，并在信号强度低于预设阈值的情况下执行预设自清洁动作；气体解离部将进入刻蚀终点检测窗口内的预设清洁气体解离成目标等离子体，利用目标等离子体对透光片的内表面进行清洁处理。本实施例的等离子刻蚀机清洁装置通过清洁气体对直
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117766367A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202211127676.8
(22)申请日2022.09.16
(71)申请人重庆康佳光电科技有限公司
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