原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种晶圆边缘处理方法，所述晶圆边缘具有倒角，所述方法包括：提供用以水平放置所述晶圆的模具；将所述晶圆水平放入所述模具中；沿所述模具内缘浇注液态可固化材料；固化所述液态可固化材料，使所述晶圆边缘倒角得到包封；将所述包封好的晶圆从所述模具中取出。本发明还公开了一种晶圆边缘处理后形成的晶圆组件，所述晶圆边缘具有倒角，所述晶圆组件包括包封件，包封件沿所述晶圆边缘对所述晶圆边缘倒角形成紧密包封。本发明采用树脂类聚合物包封晶圆边缘倒角的方法，避免其在减薄过程中倒角处悬空发生崩边现象。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110223909A
(43)申请公布日
2019.09.10
(21)申请号20191
文档评论（0）