高纯气体管道施工工法.pdfVIP

高纯气体管道施工工法

高纯气体管道施工工法

一、前言

随着我国半导体、制芯业的发展，高纯气体管道的应用也越来越广泛，

象半导体、电子、医药、食品等行业都不同程度的使用了高纯气体管道，

因此高纯气体管道的施工对于我们来说也越来越重要。

1999年，我公司引进了美国生产的全自动轨道焊机及其相关的配管安

装设备，这套设备自动化程度高，焊接过程实现了全自动控制，设备性能

稳定，质量好且外形美观、体积小、重量轻、操作方便，非常适合电子厂

房的洁净施工。几年来通过我们的研究与实践，通过向国外专家请教，向

外单位同行学习，形成了这套施工工艺，在吉林华星5寸芯片生产线、杭

州立昂电子有限公司6寸芯片生产线、江苏吴江阿尔发光导纤维生产线的

施工中应用了本工法，效果不错。

二、适用范围

本工艺主要适用于电子、半导体厂房的气体管道安装、测试，焊接薄

壁不锈钢气体管道，同时也适用于医药、食品等厂房的洁净管道施工。

三、工艺原理

根据工程特点，工程的施工前后分为三个步骤，每一步都要经过严格

的质量和洁净度检查，第一步是管道的预制，为保证洁净要求，管道的预

制一般是在