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本发明提出一种空气环境制备高性能的碘化亚铜沟道P型薄膜晶体管器件的制备方法。本发明方法制备的器件自下而上包括衬底、ITO(氧化铟锡)栅电极、壳聚糖栅极氧化层、碘化亚铜沟道层、金属源漏电极。本发明通过采用有机物壳聚糖为薄膜晶体管的栅极氧化层实现了对于空气中水汽的吸收，避免了常见的旋涂碘化亚铜溶液过程中沟道层颗粒凝聚进而导致不导电的情况，从而成功实现了碘化亚铜薄膜晶体管在空气环境下的制备，减少了该类型实验的实验成本，通过掺杂锌离子，锌离子占据铜空位，取代铜离子位点并产生额外的电子减少了沟道层中多余空
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117766379A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311511387.2
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人浙江大学
地址310058
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