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一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构.pdfVIP

一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构.pdf

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    本实用新型涉及多晶金刚石生产技术领域，具体涉及一种CVD多晶金刚石薄膜异质外延衬底结构，包括衬底盘，所述衬底盘的内底壁抵接有隔离环，所述隔离环的四周呈环形阵列固定连接有多个延伸板，各组所述延伸板的底部均固定连接有插柱，所述衬底盘的底部开设有凹槽。本实用新型克服了现有技术的不足，通过隔离环、延伸板和限位杆的设置，使得可以选择不同尺寸的隔离环置于衬底盘的内部，并将对应的各组插柱贯穿各组通孔，接着将各组限位杆分别贯穿各组插孔的内部，从而实现对通孔和隔离环的限位，使得隔离环和衬底盘的底部组成所需内径的衬

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220665510U

    (45)授权公告日2024.03.26

    (21)申请号202322251669.5

    (22)申请日2023.08.21

    (73)专利权人中科粉研（河南）超硬材料有限公

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