一种纳米分辨的芯片立体成像检测设备与方法.pdfVIP

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2024-03-27 发布于四川
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一种纳米分辨的芯片立体成像检测设备与方法.pdf

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本发明提供一种纳米分辨的芯片立体成像检测设备，包括沿X射线的传播方向依次排布的束流阻挡器、单毛细管椭球聚焦镜、针孔、样品台、波带片和成像探测器、与成像探测器连接的处理器；样品台上设有待测芯片，样品台进行旋转以生成待测芯片的不同角度的投影光束；波带片将投影光束中的纳米尺度信息放大到微米量级；成像探测器采集待测芯片在两个不同角度时的投影图像；处理器设置为根据待测芯片在两个不同角度时的投影图像，利用双目立体视觉技术得到深度信息和/或立体图像。本发明还提供相应的方法。本发明的检测设备在纳米分辨下获得具有

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117761097A

(43)申请公布日2024.03.26

(21)申请号202311542352.5

(22)申请日2023.11.20

(71)申请人中国科学院上海高等研究院

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