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本发明涉及一种含PN结的单晶半导体芯光纤器件及其制备方法。在N型半导体材料上通过离子注入三价元素形成PN结,再由CO2激光照射后制备光纤包层,形成光纤内单晶PN结器件。包括如下步骤:1)采用湿法腐蚀技术对较粗的单晶N型半导体棒进行腐蚀处理,得到直径较小的棒状芯材料;2)将腐蚀过的单晶半导体芯放入离子注入机下,注入合适能量和剂量的三价离子于半导体芯内部;通过退火消除由于高能离子注入半导体芯后与靶原子发生一系列碰撞而产生的晶格损伤;3)选择合适的玻璃毛细管包裹相适应的含PN结单晶半导体芯,用CO2激
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117761824A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311784176.6C23C14/58(2006.01)
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