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2024-03-27 发布于四川
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本实用新型为有关一种具震动侦测及影像辨识的机械手臂，主要结构包括一晶圆搬运装置、一枢设于晶圆搬运装置上的机械手臂、一设于机械手臂上的影像撷取装置、至少一设于机械手臂上的第一震动传感器、一设于晶圆搬运装置内的第二震动传感器、及一设于晶圆搬运装置一侧的监控装置，且监控装置包含有一资讯连结影像撷取装置的状态检测部、及一资讯连结第一震动传感器与第二震动传感器的震动检测部。藉上述结构，使机械手臂兼具晶圆储存状态检测、碰撞感测、及寿命预测等功能，而避免机械结构动作不稳与检测误差的因素相互影响，进而提升移动及

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220672536U

(45)授权公告日2024.03.26

(21)申请号202321996977.4G01D21/02(2006.01)

(22)申请日2023.07.

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