原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例公开了一种用于晶圆加工的载板清洗设备，其包括:包括:防护外壳，设置于所述防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，所述防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件。其通过设置于防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件，共同实现了载板的全程自动化清洗，且能保持严苛的清洗环境，且还公开了一种清洗方法，在各个步骤独立执行清洗以及洁净清
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117753719A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202410196534.XB08B3/08(2006.01)
文档评论（0）