一种提升PbSe薄膜光电探测器灵敏度的方法.pdfVIP

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2024-03-27 发布于四川
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一种提升PbSe薄膜光电探测器灵敏度的方法.pdf

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本发明公开了一种提升PbSe薄膜光电探测器灵敏度的方法，该方法包括以下步骤：提供表面沉积有PbSe薄膜的芯片衬底；对PbSe薄膜进行辐照处理。本发明中，采用辐照处理方式对PbSe薄膜进行敏化处理，不仅能够优化PbSe薄膜的晶体结构，而且能够有效的改善薄膜的形貌、缺陷，因而能够增加探测过程中的光电流，减少暗电流，并能提升探测器的灵敏度和探测率，其中探测率高达5.01×1010cmHz1/2·W‑1。与常规敏化方法相比，本发明提升PbSe薄膜光电探测器灵敏度的方法，具有工艺简单、易操作、易于调控等优

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117766407A

(43)申请公布日2024.03.26

(21)申请号202311791301.6

(22)申请日2023.12.22

(71)申请人湖南工商大学

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