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实施方式涉及一种半导体存储装置及其制造方法。实施方式的半导体存储装置具备:衬底;多个导电层,配设在与衬底的表面交叉的第1方向,且在与第1方向交叉的第2方向延伸;多个绝缘层,分别设置在多个导电层之间;半导体层,在第1方向延伸,与多个导电层及多个绝缘层对向;及栅极绝缘层,设置在多个导电层与半导体层之间;且具有形成多个导电层、多个绝缘层、半导体层及栅极绝缘层的第1区域、以及与该第1区域不同的第2区域,多个导电层包含多个第1导电层及多个第2导电层,所述半导体存储装置在第2区域的与多个第1导电层相同的层具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117769256A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202410036827.1
(22)申请日2020.03.06
(30)优先权数据
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