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基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统.pdfVIP

基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统.pdf

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    本发明涉及一种基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统，特殊气体输送设备包括载气供应单元、混气输出单元、检测单元、吹扫单元、排放单元、第一泄压单元和第二泄压单元。其优点在于，通过设置排放单元，可对混合气体和吹扫气体进行分区排放，可以减少后端尾气处理的压力，还能保护环境，防止尾气泄露的危害；还通过设置第一泄压单元和第二泄压单元，可对载气的进气口和混合气体的出口进行泄压，提高设备和系统的安全性，保护人员生命和财产安全，确保生产工艺的稳定性；再有，通过设置检测单元，可预先做到对下瓶气进行测

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117759866A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202311787446.9

    (22)申请日2023.12.22

    (71)申请人上海良薇机电工程

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