用于施加覆盖的聚合物涂层到衬底的方法.pdfVIP

用于施加覆盖的聚合物涂层到衬底的方法.pdf

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描述用于施加固化聚合物覆盖涂层到表面上，明确来说用于施加覆盖涂覆固化聚合物涂层到可用作用于处理半导体晶片的静电卡盘的衬底的表面上的技术。通过施加液体喷雾溶液涂层到静电卡盘的整个表面上且然后在覆盖涂层的整个表面区域上固化所述覆盖涂层的聚合物而制备所述固化聚合物覆盖涂层。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117769466A

(43)申请公布日2024.03.26

(21)申请号202280053475.X(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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