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本申请涉及一种氦质谱测漏时避免管道污染的装置，涉及管道检漏技术领域。一种氦质谱测漏时避免管道污染的装置，包括连通设置于待测管道和抽风管之间的连通管，所述连通管和待测管道之间设置有第一控制阀，所述连通管和抽风管之间设置有第二控制阀；所述连通管上连通设置有用于输送氮气的氮气管，所述氮气管上设置有第三控制阀。本申请具有减少氦质谱仪放空时，空气进入待测管道内部所造成的污染的效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117759871A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202410037506.3
(22)申请日2024.01.10
(71)申请人上海兄弟微电子技术有限公司
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