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本申请公开一种接触结构、一种半导体元件,以及该半导体元件的制备方法。该半导体元件包括一基底;一杂质区,设置于该基底中;一中介导电层,设置于该杂质区上;一底部导电层,设置于该中介导电层上;一导电封盖层,设置于该底部导电层上;一顶部导电层,设置于该导电封盖层上。该中介导电层、该底部导电层、该导电封盖层及该顶部导电层配置成一接触结构。该底部导电层包括锗或硅锗。该底部导电层包括一n型掺杂物或一p型掺杂物。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117766493A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202310457057.3
(22)申请日2023.04.25
(30)优先权数据
17/953,0462022
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