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一种正性光刻胶及其制备方法.pdfVIP

一种正性光刻胶及其制备方法.pdf

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    本申请涉及光刻胶技术领域，具体公开了一种正性光刻胶及其制备方法，正性光刻胶，包括以下重量份的原料：改性酚醛树脂10‑30份、光敏剂1‑5份、有机硅流平剂0.1‑0.3份和有机溶剂40‑70份；所述改性酚醛树脂为酚醛树脂经含硼硅倍半氧烷改性得到。本申请采用将硼元素引入硅倍半氧烷中，将硅倍半氧烷优异的耐热性与硼元素优异的热稳定性相结合，使得含硼硅倍半氧烷具有优异的耐热性和热稳定性；进而通过含硼硅倍半氧烷对酚醛树脂改性，可提高酚醛树脂的耐热性，从而提高了所制正型光刻胶的分辨率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117761970A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202311795454.8

    (22)申请日2023.12.25

    (71)申请人瑞红（苏州）电子化学品股份有限公

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