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清洗装置.pdfVIP

清洗装置.pdf

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    本发明提供一种清洗装置，其可防止清洗液侵入至旋转机构，并且可防止来自旋转机构的尘埃附着于基板。实施方式的清洗装置包括：多个辊，与基板的外周接触而使基板旋转；旋转机构，使辊经由旋转轴而旋转；罩，介隔存在于辊与旋转机构之间，覆盖旋转机构；喷出口，设置于罩，向罩与辊之间喷出气体；负压区域，设置于罩中的旋转机构侧，通过排气而成为相较于罩的外部的气压为负压；清洗液喷出部，对基板喷出清洗液；以及清洗部，通过使刷与旋转的基板的至少一个面接触来对基板的面进行清洗。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117753694A

    (43)申请公布日2024.03.26

    (21)申请号202311128056.0B08B3/02(2006.01)

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