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本发明提供一种支援装置、支援方法、基板处理系统及存储介质。支援装置(200)支援基板处理装置(100)的参数的值(X2)的调整。参数包含被检测对应的物理量(Z1)的检测对象参数。支援装置的运算处理部(201)使第1机器学习模型(M1)学习品质数据(Y)及与物理量相关的检测数据(Z2)来构建预测模型(PM)。运算处理部基于预测模型、采集函数(AF)、搜索范围(SW)执行贝叶斯优化，获取检测数据推荐值(Z3)。运算处理部使第2机器学习模型(M2)学习参数的值和检测数据。运算处理部将检测数据推荐值输入
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117763212A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311183995.5
(22)申请日2023.09.14
(30)优先权数据
2022-152398202
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