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本申请实施例提供一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置,属于连续直拉法晶体装置技术领域,包括:炉体以及设置所述炉体内的外坩埚和内坩埚,所述内坩埚位于所述外坩埚内,且所述内坩埚与所述外坩埚的内壁之间具有间隙;所述内坩埚上设置有安装环,所述炉体内设置有安装部,所述安装环设置在所述安装部上,且所述安装环能够在所述安装部上以自身圆心转动;驱动装置,与所述安装环连接,所述驱动装置用于驱动所述安装环在所述安装部上转动,以带动所述内坩埚相对于所述外坩埚发生转动。通过本申请实施例提供的一种用于连续直拉法晶体生
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117758355A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311382750.5
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人西安交通大学
地址710115
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