原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及精密微操作领域，提供了一种固体流体组合精密驱动装置及方法，包括流体腔室、固体驱动件以及随动体，驱使所述固体驱动件的部分或全部进出所述流体腔室能够引起流体腔室体积变化使得流体腔室中的流体驱使所述随动体产生平动或转动。本发明通过在壳体内设计一个流体腔室并通过固定伸入到流体腔室中的方式，进而使得流体成为驱动随动体运动的驱动力，通过将固体的外径设计为小于随动体外径的方式满足超精密和高精度位移驱动的要求，实现了通过机械驱动的方式解决了精密驱动的问题，结构简单，操作便捷，易于实现。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117759689A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202410140440.0
(22)申请日2024.01.31
(71)申请人上海交通大学
地址200240
文档评论（0）