- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种PECVD沉积BSG‑硼源层制备硼发射极的方法及硅片与装置系统,所述方法包括依次进行的硅片预处理、PECVD沉积和热退火处理;其中,所述PECVD沉积的温度为250‑500℃,压力为800‑3000mTorr,工艺气体包括SiH4、B2H6和N2O,稀释气体包括Ar、H2或N2中的任意一种或至少两种的组合。本发明提供的方法特别适用于大尺寸电池在大管径的PECVD设备上沉积BSG,提升了硼掺杂均匀性及掺杂浓度,降低了表面BSG层去除难度,改善了钝化效果,同时简化了工艺流程,提高了生
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117766600A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311783594.3C23C16/02(2006.01)
您可能关注的文档
- 一种用于水质中半挥发性有机物的检测方法.pdf
- 用于包装袋生产线的缓冲单元.pdf
- 一种高速信号平行双线转换为双端口的转换装置.pdf
- 一种生物质气压烘焙的自热型焦连续生产方法及系统.pdf
- 一种热镀锌加工用镀锌层均匀性检测装置.pdf
- 一种胎牛血清替代物及其制备方法和应用.pdf
- 一种具有自适应夹持定位结构的防震锤及其安装方法.pdf
- 一种双燃料供给系统的控制方法、装置及车辆.pdf
- 一种新型粉末涂装余热回收装置及方法.pdf
- 放大电路及比较器.pdf
- 2024年云南住院医师-云南住院医师口腔颌面外科笔试参考题库含答案.docx
- 2024年云南住院医师-云南住院医师皮肤科笔试参考题库含答案.docx
- 2024年上海住院医师-上海住院医师儿科笔试参考题库含答案.docx
- 2024年上海住院医师-上海住院医师小儿外科笔试参考题库含答案.docx
- 2024年云南住院医师-云南住院医师核医学科笔试参考题库含答案.docx
- 2024年上海住院医师-上海住院医师医学影像科笔试参考题库含答案.docx
- 2024年3月中国农业科学院农业经济与发展研究所招考聘用笔试参考题库附带答案详解.docx
- 2024年03月云南省陇川县林业和草原局下属事业单位2024年度引进1名研究生笔试参考题库附带答案详解.docx
- 2024年业务知识竞赛-手机终端业务知识竞赛笔试参考题库含答案.docx
- 2024年03月广东省清远市水利枢纽建设管理处2024年公开招考2名自主聘用人员笔试参考题库附带答案详解.docx
1亿VIP精品文档
相关文档
最近下载
- GBT3836.1-2021 爆炸性环境 第1部分:设备 通用要求.pdf
- 2022年云南省高考数学(文科)真题(含答案).pdf VIP
- 统编版道德与法治三年下册《大家的“朋友”》第一课时“认识我们的朋友”说课稿(附反思)课件PPT.pptx
- 高考广东卷:《化学》科目2022-2020年考试真题与答案解析.pdf
- 二年级下册科学课件 - 太阳的位置与方向 青岛版(共16张PPT).pptx
- 部编人教版七年级语文下册第15课《驿路梨花》精品课件.pptx
- DB11_T 1200-2015 超长大体积混凝土结构跳仓法技术规程.PDF VIP
- 浙江省建设工程咨询招标文件示范文本.doc VIP
- 《看守所执法细则.docx
- 2024乙肝抗病毒治疗指南.pptx VIP
文档评论(0)