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- 2024-03-30 发布于四川
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本发明提供了一种防止金属线腐蚀的工艺方法，包括：在MEMS晶圆的切割道表面形成若干排液槽；将MEMS晶圆设有排液槽的一侧与底层晶圆键合；在MEMS晶圆远离底层晶圆的一侧的切割道形成若干金属线；通过晶圆密封环将顶层晶圆与MEMS晶圆设有金属线的一侧键合，且在顶层晶圆、MEMS晶圆及晶圆密封环之间构成空腔；刻蚀空腔上方的顶层晶圆以暴露金属线，并刻蚀MEMS晶圆的切割道以形成若干连通且贯穿MEMS晶圆的开口，开口与排液槽连通；以及，执行清洗工艺，清洗工艺的清洗液从排液槽排出。本发明在MEMS晶圆的切割
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117776099A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311836825.2
(22)申请日2023.12.28
(71)申请人芯联集成电路制造股份有限公司
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