气密性系统级封装元件表贴方法及封装元件.pdfVIP

气密性系统级封装元件表贴方法及封装元件.pdf

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本发明涉及一种气密性系统级封装元件表贴方法及封装元件,涉及半导体封装技术领域。包括:对外壳进行清洗,使得外壳表面的焊盘洁净;将焊料放置于所述焊盘表面,将待封装元件贴放结构放置于焊料上方,得到装配好的产品;焊料为无助焊剂固态焊料;将装配好的产品放入共晶烧结设备中,按照共晶焊接工艺曲线,在氮气或真空气氛下进行共晶焊接,得到封装元件。采用固态无助焊剂焊料,在真空或氮气气氛下通过共晶焊接工艺实现元件表贴,避免了常规回流焊接工艺因清洗残留助焊剂或免清洗焊料的助焊剂残留而引入的水汽超标问题,降低了系统级封装

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117790332A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311808917.XB23K101/40(2006.01)

(22)申请日2023.12

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