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本发明公开了一种叉指电容的参数获取方法及其获取装置，包括以下步骤：获取当前叉指电容，并确定其版图尺寸；将确定的版图尺寸输入预构建的ANN模型中，获取当前叉指电容的π型等效电路的元件参数预测；将元件参数预测代入π型等效电路，对π型等效电路进行等效电路仿真，获取当前叉指电容的基础参数预测，所述π型等效电路包括电阻Rs1、电容Cs1、电感Ls1依次串联形成主路，所述电阻Rs2和电容Cs2串联后并联在主路两端；本发明采用了改进的π型等效电路，该电路利用了电容和电阻的串联网络来表征耦合效应，更加准确地预测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117787092A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311772566.1
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人安徽矽芯微电子科技有限公司
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