一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法.pdfVIP

一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法.pdf

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本发明公开了硅片生产设备技术领域的一种全自动硅片智能翻转叠双片插片机及工作方法,包括,硅片放置机构,所述硅片放置机构用于叠放硅片;工作台;液压伸缩杆,所述液压伸缩杆设置在工作台上,且液压伸缩杆用于带动硅片放置机构上的硅片向上移动;硅片转移机构,通过气缸带动连接板向下移动,使得吸盘接触顶部硅片,在连接板向下移动时,通过设置有防叠片组件,可以挤压两侧的顶杆,进而当吸盘接触顶部硅片时,两侧的防滑垫正好夹紧除了顶部以外的硅片,从而通过吸盘吸住顶部硅片后,再通过电动伸缩杆带动吸盘向上移动,使得顶部硅片向上

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117790384A

(43)申请公布日2024.03.29

(21)申请号202311796132.5

(22)申请日2023.12.25

(71)申请人苏州晶樱光电科技有限公司

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