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本发明涉及光束测量技术领域，尤其涉及一种平行光束质量检测装置及其检测方法。其包括缩束透镜组、设置在所述缩束透镜组旁侧的剪切干涉仪、设置在所述剪切干涉仪一面的哈特曼‑夏克波前传感器、设置在所述剪切干涉仪另一面的相机、以及用来聚焦且置于所述相机和所述剪切干涉仪之间的透镜以及用来接收并分析结果的光束质量分析测试仪。本发明的有益之处：对可见光波段、红外波段的平行光束直接测量光束质量，无需添加辅助器械，直接记录平行光束的干涉条纹，通过干涉条纹变形指标可以同时获取光束质量的干涉信息，避免肉眼观察错误，通过图
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117782336A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311809086.8
(22)申请日2023.12.26
(71)申请人苏州励索精密装备科技有限公司
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