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本发明提供了一种铜镍钛合金靶材及其制备方法与应用,所述制备方法包括如下步骤:(1)混合铜粉、镍粉与钛粉,然后将所得混合粉进行悬浮熔炼,得到合金锭;(2)精炼所得金属锭至少3次,将最后一次精炼所得熔体进行浇铸,得到铸锭;(3)对所得铸锭进行轧制处理,得到铜镍钛合金靶坯;(4)热等静压处理所得铜镍钛合金靶坯,得到所述铜镍钛合金靶材。本发明提供的制备方法结合至少3次精炼以及热等静压处理,保证了最终所得铜镍钛合金靶材的组织均匀性以及高相对密度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117778783A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311838569.0C23C14/35(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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