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本发明在流体控制装置的阀控制中降低喷嘴的影响并且提高响应性能,是对流体控制装置(100)的阀(3)进行控制的阀控制方法,其中,对所输入的流量设定值(Qset)乘以目标响应传递函数(F)而生成目标响应函数(Y(Qset)),针对目标响应函数(Y(Qset)),对阀(2)的驱动电压与流量的非线性进行修正而生成目标电压函数(Y(Vset)),根据目标电压函数(Y(Vset))对阀(3)的延迟特性进行修正而生成前馈电压信号(VFF),根据目标响应函数(Y(Qset))与流量传感器(2)的流量测定值(Qm
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117795448A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202280053184.0(74)专利代理机构北京信慧永光知识产权代理
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