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一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器.pdfVIP

一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器.pdf

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    本发明提出了一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器，由基底层、金属层、直波导、圆形空缺、第一谐振腔和第二谐振腔组成的；本发明包含一个平行四边形腔、一个S形腔和一个带圆形空缺的总线波导，S形腔中填充液体丙酮，激发的表面等离子体产生Fano共振，通过测量Fano共振波长，利用Fano共振波长与丙酮温度间的对应函数关系，得到环境气温；本发明的效果和益处为：体积小、寿命长、响应快、易于构建集成化光子器件。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117782365A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311852847.8

    (22)申请日2023.12.29

    (71)申请人江苏理工学院

    地址213001

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