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一种薄膜方阻测量机构.pdfVIP

一种薄膜方阻测量机构.pdf

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    本实用新型涉及一种薄膜方阻测量机构，包括底座、表笔、调节机构和固定机构，所述底座顶部的四周均固定安装有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定安装有顶座，所述顶座顶部的正面固定安装有方阻仪；所述调节机构包括固定安装于底座内部左侧的伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有活动块。该薄膜方阻测量机构，通过设置调节机构和固定机构，在使用使将薄膜放置在底部固定轮的顶部，启动气缸二带动活动板下降至顶部固定轮完成薄膜的固定，经由伺服电机调节两个表笔至想要测量的位置，启动气缸一使两个表

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220691014U

    (45)授权公告日2024.03.29

    (21)申请号202321997415.1

    (22)申请日2023.07.27

    (73)专利权人江苏元核芯技术有限责任公司

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