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本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化锌铝靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：将氧化铝粉末、第一分散剂、水混合制浆并研磨，得到第一浆料；步骤2：将第一浆料、氧化锌粉末、第二分散剂混合制浆并研磨，得到第二浆料；步骤3：采用第二浆料喷雾造粒得到松装密度为0.8‑1g/cm3的粉末；步骤4：将步骤3得到的粉末进行模压和冷等静压，得到氧化锌铝靶胚；步骤5：将氧化锌铝靶胚烧结得到氧化锌铝靶材。本发明通过控制喷雾造粒的粒径，制造出具有一定的松密度的粉末，可以不使用粘结剂一样可以制备出相对密度大、电阻率低
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117776709A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311738517.6
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司
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