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半导体激光器的电极的制备方法及电极.pdfVIP

半导体激光器的电极的制备方法及电极.pdf

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    本申请公开了半导体激光器的电极的制备方法及电极，该方法包括：对第一晶圆进行沉积处理，以使第一晶圆的表面附着第一金属膜，得到第二晶圆；对第二晶圆进行电镀处理，以使第一金属膜上附着第二金属膜，得到第三晶圆，其中，第三晶圆已剥离光刻胶；对第三晶圆依次进行涂光刻胶和光刻处理，以形成第二光刻图形，得到第四晶圆；对第四晶圆进行沉积处理，以使第四晶圆的表面附着第三金属膜，对附着第三金属膜的第四晶圆进行剥离处理，得到半导体激光器的电极。通过电镀方式在第一金属膜外又附着第二金属膜，使得第一金属膜和第二金属膜贴合紧

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117791297A

    (43)申请公布日2024.03.29

    (21)申请号202311817348.5

    (22)申请日2023.12.26

    (71)申请人武汉敏芯半导体股份有限公司

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